◆蒸發(fā)內(nèi)腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
◆蒸發(fā)室極限真空：≤ 2×10-4Pa
◆電子槍：4支，每支10kW
◆離子源：4支，空心陰極
◆烘烤溫度：最高270℃
◆走速：0.5—5m/min
創(chuàng)新·誠信·高效
始建于1959年
始建于1959年
主要技術(shù)指標(biāo)
蒸發(fā)內(nèi)腔尺寸：1.5×1.5×1.4m
蒸發(fā)室極限真空：≤ 2×10-4Pa
電子槍：4支，每支10kW
離子源：4支，空心陰極
烘烤溫度：最高270℃
走速：0.5—5m/min
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