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工藝過(guò)程裝備

FJ 系列單抽口分子泵機(jī)組--FJ620分子泵機(jī)組
◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成無(wú)油真空系統(tǒng)。抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
◆ 可單獨(dú)移動(dòng),方便操作。具有手動(dòng)、自動(dòng)功能。

性能指標(biāo)

型號(hào)

機(jī)組穩(wěn)定抽速(L/S

空載極限真空(Pa

分子泵型號(hào)

前級(jí)泵

機(jī)組尺寸mm,不含羅茨泵)

FJ620

620

9×10-5 

FF-160/620

干泵或旋片泵

650×550×1200


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