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工藝過程裝備

FJ 系列多抽口分子泵機組主要配置--FJ1600G分子泵機組
◆ 可配置多種真空接口,便于拓展。
◆ 可配置成無油真空系統(tǒng)。
◆ 抽速穩(wěn)定,可用于多種工況。
◆ 可單獨移動,方便操作。
◆ 具有手動、自動功能。

性能指標

型號

機組穩(wěn)定抽速(L/S)

空載極限真空(Pa)

分子泵型號

前級泵

機組尺寸(mm,不含羅茨泵)

FJ1500

1500

9×10-5

F-250/1500

干泵或旋片泵(可配羅茨泵)

1000×600×1500



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