主要特點(diǎn)：模塊設(shè)計(jì)，易于安裝體積小巧；自動化高，一鍵啟動運(yùn)行；功能性強(qiáng)，支持多種靶材鍍膜；穩(wěn)定性好，高效成膜質(zhì)量可靠。
真空室尺寸(mm)：Φ114×H128；
濺射靶材尺寸(mm)：2英寸(厚度≤2mm)；
樣品臺：帶1個Φ50mm樣品臺和7個Φ13mm 掃描電鏡樣品杯，電動旋轉(zhuǎn)。
創(chuàng)新·誠信·高效
始建于1959年
始建于1959年
外型尺寸：430mm(L)×355mm(W)×390mm(H)
即可輕松獲取該產(chǎn)品報(bào)價(jià)
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